[发明专利]一种等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201510536174.4 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN106486333B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈晓;吴海华;徐力 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/50;C23C16/513 |
| 代理公司： | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人： | 刘君 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种等离子体处理装置，该等离子体处理装置既可以在需要对待处理物表面进行预处理时提供较大的离子轰击能量，又能够在对待处理物表面进行材料沉积时减小等离子体轰击能量。该等离子体处理装置结构简单而且相对于现有的等离子体处理装置降低了成本。该等离子体处理装置包括上电极组、下电极组、第一开关和第二开关。上电极组包括至少一个上电极。下电极组包括至少一个下电极。下电极组的下电极支撑被处理物体。上电极组通过第一开关接地。下电极组通过第二开关接地。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：上电极组，所述上电极组包括至少一个上电极；下电极组，所述下电极组包括至少一个下电极，所述下电极组的下电极支撑被处理物体；第一开关，所述上电极组通过所述第一开关接地；第二开关，所述下电极组通过所述第二开关接地；在对所述被处理物体进行预处理的情况下，所述第一开关闭合并且所述第二开关断开，所述上电极组接地，以增加等离子体的轰击能量；在对所述被处理物体进行材料沉积的情况下，所述第一开关断开并且所述第二开关闭合，所述下电极组接地，以降低等离子体的轰击能量；当所述第一开关和所述第二开关断开时，所述上电极组的上电极与所述下电极组的下电极的电压绝对值相等，相位相反。
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