[发明专利]一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法有效
| 申请号： | 201510538523.6 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105174200A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 刘丽霞 | 申请（专利权）人： | 刘丽霞 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;G01R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 277200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法，加热电阻、微桥谐振器I及微桥谐振器II在同一衬底上，在加热电阻通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器I温度升高，其轴向压应力增加或拉应力下降，使得微桥谐振器I的谐振频率下降，而微桥谐振器II不感受加热电阻辐射的热量，其谐振频率仅受衬底和环境温度的影响，通过测量微桥谐振器I、微桥谐振器II谐振频率的差值即可反映出加载在加热电阻上的输入电压或电流的大小。本发明加热电阻和微桥谐振器I、微桥谐振器II制作在同一衬底（1）上，简化了器件制作工艺和封装工艺，本发明的制作方法简单，易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 谐振 薄膜 热电 变换器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种新型谐振式薄膜热电变换器，包括衬底（1）、加热电阻（2）、微桥谐振器I （3）及微桥谐振器I I（4），其特征在于，所述加热电阻（2）、微桥谐振器I （3）及微桥谐振器I I（4）在同一衬底（1）上，在加热电阻（2）通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器I（3）温度升高，其轴向压应力增加或拉应力下降，使得微桥谐振器I（3）的谐振频率下降，而微桥谐振器I I（4）不感受加热电阻（2）辐射的热量，其谐振频率仅受衬底（1）和环境温度的影响，通过测量微桥谐振器I（3）、微桥谐振器I I（4）谐振频率的差值即可反映出加载在加热电阻（2）上的输入电压或电流的大小，微桥谐振器I （3）及微桥谐振器I I（4）均设有激励电阻（5）及检测电阻（6），衬底（1）正面设有成型槽（9）、铝线（7）和焊盘（8）。
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