[发明专利]利用测试程序防止晶圆Map图移位的方法在审
| 申请号： | 201510542185.3 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106483444A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 杨颖超;李亮;李鑫;金兰 | 申请（专利权）人： | 北京确安科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用测试程序防止晶圆Map图移位的方法，在集成电路测试程序中设定site作为定位标志，设定bin值作为特殊标识数值。解决了多site并行测试过程中Map图移位的发生，是一个有效、可靠的预防方法。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 测试 程序 防止 map 移位 方法 | ||
【主权项】：
利用测试程序防止晶圆Map图移位的方法其特征在于；包括以下步骤：步骤一：在多site并行测试程序中设定探针卡探针固定标志site作为定位标志，该site坐标值和测试bin值设定为特殊标识数值；步骤二：开始晶圆测试时，第一次touchdown探针停在设定好的坐标位置，测试程序自动读出定位site坐标值和测试bin值。步骤三：测试程序判定读取出的数据值与设定数据值不一致时，测试机会报警，设备自动停止运行，等待处理。
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