[发明专利]一种改进的扫描探针显微镜扫描方法在审
| 申请号： | 201510543658.1 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105241908A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 吴浚瀚 | 申请（专利权）人： | 广州市本原纳米仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510660 广东省广州市越秀区先*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进的扫描探针显微镜扫描方法，扫描探针显微镜在需要采集信号的正向扫描过程采集探针与样品的相互作用信息，而在不需要采集信号的返回扫描过程通过改进的回程空扫描控制方法，使探针与样品间的相互作用减弱或使探针与样品完全分离。本发明扫描探针显微镜在不需要采集探针与样品相互作用信息的返回扫描过程，使探针与样品间的相互作用减弱或使探针与样品完全分离，可有效减少或消除回程扫描过程中探针的无效磨损或损耗，增加了探针的使用寿命，也减少了显微镜的使用成本。本发明可广泛应用于显微技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 扫描 探针 显微镜 方法 | ||
【主权项】：
一种改进的扫描探针显微镜扫描方法，其特征在于：扫描探针显微镜在需要采集信号的正向扫描过程采集探针与样品的相互作用信息，而在不需要采集信号的返回扫描过程通过改进的回程空扫描控制方法，使探针与样品间的相互作用减弱或使探针与样品完全分离。
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