[发明专利]采用聚焦离子束的电路跟踪

摘要

所描述的是用于通过采用聚焦离子束为基础的成像技术跟踪在集成电路上的电路的方法和系统的多个实施例。在一该实施例中，用于识别与集成电路上的可切换电源接口有关联的功能性元件部分的一方法，其中该可切换电源接口包括一个之间带有控制开关的源极和漏极，在集成电路运行的过程中，所述控制开关通过控制信号而可控.该方法包括:a.通过沉积的导电材料连接源极和漏极；b.通过源极和漏极的其中一个极，将一个外部偏置电压施加于该可切换电源接口的电源输入；c.将集成电路暴露于一聚焦离子束；d.在暴露的过程中收集集成电路的图像，以确定与可关断电源接口进行有效连接的高对比度指示功能元件部分的区域。

主权项

一种识别与集成电路上的可切换电源接口有关联的功能性元件部分的方法，其特征在于，该可切换电源接口包括之间有一控制开关的一源极和一漏极，在集成电路运行期间，所述控制开关通过控制信号而可控，该方法包括：与沉积的导电材料，源极和漏极的连接；通过源极和漏极的其中一个极，将一外部偏置电压施加于一可切换电源接口的电源输入；使该集成电路暴露于一聚焦离子束下；以及在暴露的过程中收集集成电路的图像，以确定与该可切换电源接口有效连接的高对比度指示功能元件部分的区域。