[发明专利]一种采用DLC的有机电致发光器件的制造方法在审
| 申请号： | 201510547070.3 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106486604A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 田朝勇;郎丰伟 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/50 | 分类号： | H01L51/50;H01L51/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用DLC的有机电致发光器件的制造方法，方法包括以下步骤(a)基板上面涂布光刻胶的步骤。(b)采用光刻工序，在所述的基板的所定区域上，形成光刻胶图形的步骤。(c)在所述的光刻胶图形的正面做绝缘膜的步骤。(d)把所述的绝缘膜平坦化，曝光光刻胶图形的步骤。(e)剥离所述的光刻胶图形，在基板的分离区域得到绝缘膜图形。本发明的有益效果在于用黑色的DLC绝缘物质置于有机电致发光器件的分离区域，得到绝缘膜图形。这样的话，可以同时做传统的绝缘膜形状和黑矩阵或传统的阴极隔离柱和黑矩阵的作用。并且采用Lift-off工序，利用光刻工序中无法光刻的物质，在基板的分离区域上形成绝缘膜图形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 dlc 有机 电致发光 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种采用DLC的有机电致发光器件的制造方法，其特征在于：方法包括以下步骤：(a)基板上面涂布光刻胶的步骤。(b)采用光刻工序，在所述的基板的所定区域上，形成光刻胶图形的步骤。(c)在所述的光刻胶图形的正面做绝缘膜的步骤。(d)把所述的绝缘膜平坦化，曝光光刻胶图形的步骤。(e)剥离所述的光刻胶图形，在基板的分离区域得到绝缘膜图形。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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