[发明专利]一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层及其制备方法

摘要

一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层，其技术方案要点是：组分与重量百分比如下：光固化树脂20%～60%，附着剂2%~10%，活性稀释剂20%～50%，光引发剂5%～15%，促进剂0.5%～7%，辅助剂0.5%~4%，填料0.5%~5%。本发明为原创性、具有自主知识产权的创新产品，并且操作过程简单、成本低廉，易于产业化和推广应用，具有广阔的市场前景，经济效益和社会效益显著。

主权项

1.一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层，其特征在于：组分与重量百分比如下：光固化树脂20%～60%，附着剂2%~10%，活性稀释剂20%～50%，光引发剂5%～15%，促进剂0.5%～7%，辅助剂0.5%~4%，填料0.5%~5%；所述的光固化树脂为官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯、官能度为3的聚酯丙烯酸酯中的一种或两种的混合物；所述的附着剂为线性大分子聚丙烯酸脂、UV金属底处理剂中的一种或两种的混合物；所述的活性稀释剂为聚乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、1,6‑己二醇二丙烯酸酯、二缩丙二醇二丙烯酸酯、三缩丙二醇二丙烯酸酯中的一种或两种的混合物；所述的光引发剂为1‑羟基环己基苯基甲酮、2,4,6‑三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯中的一种或两种的混合物；所述的促进剂为磷酸三丁酯、聚醚中的一种或两种的混合物；所述的辅助剂为对羟基苯甲醚；所述的填料为核桃壳粉。