[发明专利]一种基于水溶液的铜锌锡硫或/和硒薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201510552435.1 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105185848B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 邹贵付;赵杰;易庆华 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H01L31/032 | 分类号： | H01L31/032 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 仇波 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于水溶液的铜锌锡硫或/和硒薄膜的制备方法，它包括以下步骤（a）将铜盐、锌盐和锡盐分别溶解在聚乙烯亚胺或其衍生物水溶液中，随后分别置于超滤杯中超滤多次得到对应金属的前驱体溶液；（b）测量上述各金属的前驱体溶液浓度，根据铜、锌和锡的摩尔比量取对应体积的前驱体溶液；（c）将所述混合溶液旋涂在基底上形成预制膜，随后置于石英管式炉中，并在管式炉的进气口放置硫粉或/和硒粉，在惰性气体的气流中加热至400~600℃进行退火10~30 min即可。这样制得的薄膜致密、各元素分布均匀，厚度可精确调节；配置的前驱体混合溶液在空气中能稳定的存放半年，重复性高；该方法属于绿色的化学方法、设备简单、成本低，适合大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 水溶液 铜锌锡硫 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于水溶液的铜锌锡硫或/和硒薄膜的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：（a）将铜盐、锌盐和锡盐分别溶解在聚乙烯亚胺或其衍生物水溶液中，随后分别置于超滤杯中超滤多次得到对应金属的前驱体溶液；（b）测量上述各金属的前驱体溶液浓度，根据铜、锌和锡的摩尔比量取对应体积的前驱体溶液，混合均匀得混合溶液；（c）将所述混合溶液旋涂在基底上形成预制膜，随后置于石英管式炉中，并在管式炉的进气口放置硫粉或/和硒粉，在惰性气体的气流中加热至400~600℃进行退火10~30 min即可。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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