[发明专利]双臂扫摆式干涉仪系统

摘要

本发明属于光学检测设备的光学组件，具体涉及一种双臂扫摆式干涉仪系统，包括底座上设置的分束镜、由第一反射镜和第二反射镜构成的反射通道，反射通道一端设有与透射光束垂直的第一后向反射镜以及与反射光束垂直的第二后向反射镜，所述第一、第二反射镜相对于底座摆动设置，第一、第二反射镜在摆动过程中镜面始终保持平行，且转轴垂直于透射光束和反射光束所在的平面。本发明的特点在于，首先它利用平面镜实现了光束的原路返回，对倾斜不敏感，便于设备的校准；其次它将动镜的直线运动转变为平台的扫摆运动，相对于直线运动而言，扫摆运动可以降低动镜驱动的复杂性，易于实现。

主权项

一种双臂扫摆式干涉仪系统，其特征在于：包括底座(40)上固定设置的分束镜(10)，平行光束入射到该分束镜(10)上，形成透射光束和反射光束；还包括由相互平行且相对设置的第一反射镜(21)和第二反射镜(22)构成的反射通道，所述分束镜(10)位于该反射通道的一端，所述透射光束和反射光束进入该反射通道并在第一、第二反射镜(21、22)之间反射，所述透射光束和反射光束至少分别在第一、第二反射镜(21、22)上反射一次，然后从反射通道另一端射出，该射出端设有与透射光束垂直的第一后向反射镜(31)以及与反射光束垂直的第二后向反射镜(32)，所述透射光束和反射光束分别经第一、第二后向反射镜(31、32)反射后由原路径返回，并在分束镜(10)汇合形成干涉平行光束；所述第一、第二反射镜(21、22)相对于底座(40)摆动设置，第一、第二反射镜(21、22)在摆动过程中镜面始终保持平行，且摆动时的转轴垂直于透射光束和反射光束所在的平面；所述第一、第二后向反射镜(31、32)安装在调节支架上，所述调节支架包括立式设置的第一安装板(33)和第二安装板(34)，所述第一安装板(33)的一条竖边与底座(40)上设置的框架(30)固接，第二安装板(34)的一条横边与该框架(30)固接，第一、第二安装板(33、34)由于自身弹性可绕固定边摆动，第一、第二安装板(33、34)的自由端均设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有调节螺钉(35)，所述调节螺钉(35)顶在框架(30)上，所述框架上还设有两导销(36)，所述两导销(36)分别穿过第一、第二安装板(33、34)且外端设有凸肩，所述导销上套设有复位弹簧(37)，所述第一后向反射镜(31)安装在第一安装板(33)的内侧，所述第二后向反射镜(32)安装在第二安装板(34)的内侧。