[发明专利]半导体装置无效
申请号: | 201510555734.0 | 申请日: | 2015-09-02 |
公开(公告)号: | CN105977230A | 公开(公告)日: | 2016-09-28 |
发明(设计)人: | 西川幸江;岸田基也 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 实施方式的半导体装置具备半导体层、设置在半导体层上的第1绝缘膜、设置在第1绝缘膜上的第1导电层、设置在半导体层上及第1导电层上的第2绝缘膜、设置在第2绝缘膜上的第2导电层、将半导体层与第2导电层连接的第1接点部、及将第1导电层与第2导电层连接的第2接点部,且半导体层与和第2接点部相邻的第2绝缘膜的上部的距离比半导体层与和第1接点部相邻的第2绝缘膜的上部的距离大,第2接点部的宽度比第1接点部的宽度宽。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于具备:半导体层;第1绝缘膜,设置在所述半导体层上;第1导电层,设置在所述第1绝缘膜上;第2绝缘膜,设置在所述半导体层上及所述第1导电层上;第2导电层,设置在所述第2绝缘膜上;第1接点部,将所述半导体层与所述第2导电层连接;以及第2接点部,将所述第1导电层与所述第2导电层连接;并且所述半导体层与和所述第2接点部相邻的所述第2绝缘膜的上部的距离比所述半导体层与和所述第1接点部相邻的所述第2绝缘膜的上部的距离大;所述第2接点部的宽度比所述第1接点部的宽度宽。
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