[发明专利]一种提高太阳能电池扩散炉碳化硅桨抗疲劳强度的方法有效
| 申请号： | 201510555746.3 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105256375B | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 张伟娜;陈犹郎 | 申请（专利权）人： | 光昱（厦门）新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司35204 | 代理人： | 张松亭,游学明 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市翔安区火炬（翔*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高太阳能电池扩散炉碳化硅桨抗疲劳强度的方法，包括如下步骤1）采用碳化硅砂纸，将已成型的碳化硅桨表面进行打磨处理，纯水洗净烘干；2）将抛光后的碳化硅桨放入炉膛，温度升至1500℃‑1800℃，充氮气，进行渗氮处理；3）将渗氮后的碳化硅桨经退火,退火温度为900‑1000℃,后缓慢冷却至室温；4）将渗氮后的碳化硅桨放入炉膛，充氨气和硅烷，进行氮化硅镀膜，膜厚为8‑15微米，温度400‑450摄氏度；5）缓慢冷却至室温。本发明可以提高碳化硅桨的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 太阳能电池 扩散 碳化硅 疲劳强度 方法 | ||
【主权项】：
一种提高太阳能电池扩散炉碳化硅桨抗疲劳强度的方法，包括如下步骤：1)采用碳化硅砂纸，将已成型的碳化硅桨表面进行打磨处理，纯水洗净烘干；2)将抛光后的碳化硅桨放入炉膛，温度升至1500℃‑1800℃，充氮气，进行渗氮处理；3)将渗氮后的碳化硅桨经退火,退火温度为900‑1000℃,时间为30min‑2h,后缓慢冷却至室温；4)将渗氮后的碳化硅桨放入炉膛，充氨气和硅烷，进行氮化硅镀膜，膜厚为8‑15微米，温度400‑450摄氏度；5)缓慢冷却至室温。
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