[发明专利]一种硅烷的生产方法

摘要

本发明属于硅烷的生产技术领域，特指一种硅烷的生产方法，包括以下步骤：将SiH2Cl2通入硅烷生产塔的第一反应区域，控制SiH2Cl2的进入压力为0.01‑5MPa，温度为20‑100℃；SiH2Cl2在第一反应区域发生第一步歧化反应生成SiH4、SiH3Cl和SiHCl3；第一反应区域生成的SiHCl3向下流入第二反应区域并与经过再沸器加热的SiHCl3混合，发生第二步催化歧化反应生成SiH2Cl2与SiH4；SiH2Cl2与SiH4上升进入第一反应区域；第一反应区域的SiH2Cl2和生成的SiH4、SiH3Cl上升到硅烷生产塔顶部并输出至分子筛，分子筛提纯SiH4。本发明通过SiH2Cl2为原料制备SiH4，整个反应过程中，产率较高，反应步骤较少，安全可靠；本发明通过分子筛提纯SiH4，使得硅烷的纯度更好，价值更高。

主权项

一种硅烷的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：将SiH₂Cl₂通入硅烷生产塔的第一反应区域，控制SiH₂Cl₂的进入压力为0.01‑5MPa，温度为20‑100℃；SiH₂Cl₂在第一反应区域发生第一步歧化反应生成SiH₄、SiH₃Cl和SiHCl₃；第一反应区域生成的SiHCl₃向下流入第二反应区域并与经过再沸器加热的SiHCl₃混合，发生第二步催化歧化反应生成SiH₂Cl₂与SiH₄；SiH₂Cl₂与SiH₄上升进入第一反应区域；第一反应区域的SiH₂Cl₂和生成的SiH₄、SiH₃Cl上升到硅烷生产塔顶部并输出至分子筛，分子筛提纯SiH₄。