[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201510556147.3 | 申请日: | 2015-09-02 |
公开(公告)号: | CN105957889A | 公开(公告)日: | 2016-09-21 |
发明(设计)人: | 大麻浩平;高田贤治;吉冈启;矶部康裕;洪洪 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L29/772 | 分类号: | H01L29/772;H01L29/778;H01L29/20;H01L29/423 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的实施方式提供一种能够减少电流崩塌,并且能够减少漏电流的半导体装置。半导体装置(1)具备:化合物半导体层(13),设置在衬底(10)上;化合物半导体层(14),设置在化合物半导体层(13)上,且带隙比化合物半导体层(13)大;以及栅极电极(17),设置在化合物半导体层(14)上。栅极电极(17)的栅极长度比化合物半导体层(13)的厚度的2倍大,且为化合物半导体层(13)的厚度的5倍以下。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于具备:第一化合物半导体层,设置在衬底上;第二化合物半导体层,设置在所述第一化合物半导体层上,且带隙比所述第一化合物半导体层大;以及栅极电极,设置在所述第二化合物半导体层上;且所述栅极电极的栅极长度比所述第一化合物半导体层的厚度的2倍大,且为所述第一化合物半导体层的厚度的5倍以下。
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