[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 201510556147.3 申请日: 2015-09-02
公开(公告)号: CN105957889A 公开(公告)日: 2016-09-21
发明(设计)人: 大麻浩平;高田贤治;吉冈启;矶部康裕;洪洪 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: H01L29/772 分类号: H01L29/772;H01L29/778;H01L29/20;H01L29/423
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的实施方式提供一种能够减少电流崩塌,并且能够减少漏电流的半导体装置。半导体装置(1)具备:化合物半导体层(13),设置在衬底(10)上;化合物半导体层(14),设置在化合物半导体层(13)上,且带隙比化合物半导体层(13)大;以及栅极电极(17),设置在化合物半导体层(14)上。栅极电极(17)的栅极长度比化合物半导体层(13)的厚度的2倍大,且为化合物半导体层(13)的厚度的5倍以下。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于具备:第一化合物半导体层,设置在衬底上;第二化合物半导体层,设置在所述第一化合物半导体层上,且带隙比所述第一化合物半导体层大;以及栅极电极,设置在所述第二化合物半导体层上;且所述栅极电极的栅极长度比所述第一化合物半导体层的厚度的2倍大,且为所述第一化合物半导体层的厚度的5倍以下。
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