[发明专利]一种大口径超精密磨床集成系统

摘要

本发明公开一种大口径超精密磨床集成系统，包括Z轴主轴箱和可拆卸地连接到所述Z轴主轴箱上的二维振动辅助激光扫描在位检测系统；所述二维振动辅助激光扫描在位检测系统包括所述随动导轨和X轴导轨，以及与所述随动导轨匹配连接的随动导轨连接件；所述随动导轨平行于所述X轴导轨，可沿所述X轴导轨方向来回滑动，而所述随动导轨连接件在X轴方向上保持不动。本发明还包括在位砂轮修整装置，能够实现对弧面砂轮的在位自动化修整。本发明是一种面向大口径光学镜面加工、检测、修整一体化的超精密光学磨床，将非接触式传感器应用到大口径光学镜面磨削机床上，能够极大地提高检测效率和加工效率，最大限度减小被测元件搬运过程中引入的误差。

主权项

一种大口径超精密磨床集成系统，其特征在于，包括Z轴主轴箱和可拆卸地连接到所述Z轴主轴箱上的二维振动辅助激光扫描在位检测系统；所述二维振动辅助激光扫描在位检测系统包括随动导轨和X轴导轨，以及与所述随动导轨匹配连接的随动导轨连接件；所述随动导轨平行于所述X轴导轨，可沿所述X轴导轨方向来回滑动，而所述随动导轨连接件在X轴方向上保持不动；所述大口径超精密磨床集成系统还包括在位砂轮修整装置和X轴工作台；所述在位砂轮修整装置设置在所述X轴工作台旁边，采用了两个自由度，能够进行姿态调整；所述大口径超精密磨床集成系统还包括机床底座、立柱、横梁、机床Y轴导轨和Y轴溜板箱；所述立柱将所述机床底座与所述横梁连接起来；所述机床Y轴导轨设置在所述横梁上；所述Y轴溜板箱设置在所述机床Y轴导轨上；所述Y轴溜板箱与所述Z轴主轴箱连接；所述机床底座、所述立柱、所述横梁、所述Y轴溜板箱和所述Z轴主轴箱均采用花岗岩材料；所述大口径超精密磨床集成系统还包括设置在所述横梁上的Y轴直线电机；所述Y轴直线电机可以驱动所述Y轴溜板箱沿所述电机Y轴导轨运动；所述Y轴溜板箱采用封闭式对称结构，其顶部设置有双平衡液压缸；所述Z轴主轴箱内置静压主轴；通过所述双平衡液压缸能对所述Z轴主轴箱和所述静压主轴进行卸荷；所述二维振动辅助激光扫描在位检测系统还包括Y轴音圈电机、Y轴导轨、Y轴运动平台、激光位移传感器、X轴音圈电机、X轴运动平台连接件和X轴运动平台；所述Y轴音圈电机、所述随动导轨连接件、所述随动导轨和所述激光位移传感器依次连接；从上到下依次设置所述激光位移传感器、所述Y轴运动平台、所述Y轴导轨、所述X轴运动平台、所述X轴导轨；所述X轴音圈电机通过所述X轴运动平台连接件与X轴运动平台连接；所述二维振动辅助激光扫描在位检测系统还包括Y轴光栅和X轴光栅；所述Y轴光栅设置在所述Y轴导轨旁边，用于监测所述激光位移传感器在Y轴方向上的移动距离；所述X轴光栅设置在所述X轴导轨旁边，用于监测所述激光位移传感器在X轴方向上的移动距离；从而实现全闭环运动控制。