[发明专利]具有垂直相界的铌酸钾钠-锆酸钡-钛酸铋钠无铅压电薄膜的制备方法

摘要

本发明提供一种具有垂直相界的铌酸钾钠-锆酸钡-钛酸铋钠无铅压电薄膜的制备方法，采用化学溶液沉积工艺，以KNN-BZ-BNT先驱体溶液旋涂沉积在基底上，并经过热处理得到致密无裂纹的单层结晶薄膜。多次重复旋涂-热处理工艺后得到厚度为0.4～2μm的KNN-BZ-BNT薄膜。通过高聚物聚乙烯吡咯烷酮和/或Mn²⁺、Co²⁺或Fe²⁺等改性，提高KNN-BZ-BNT薄膜的电性能，尤其是铁电和压电性能。

主权项

一种具有垂直相界的铌酸钾钠‑锆酸钡‑钛酸铋钠无铅压电薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：将钾、钠、铌、锆、钡、钛和铋七种金属离子混合后，采用旋转涂覆工艺沉积在基底上，然后经过热处理后得到具有垂直相界的KNN‑BZ‑BNT无铅压电薄膜。