[发明专利]一种射频等离子体设备匹配器有效
| 申请号： | 201510556685.2 | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105228330B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 吕欣;周仁;刘忠武 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明半导体设备制造领域，具体地来讲为一种射频等离子体设备匹配器，该匹配器与射频电源的滤波电路输出端连接，其特征在于，包括一固定不可调的电感与可调电容并联形成匹配网络电路，匹配网络电路的一端与射频电源连接作为输入端，另一端通过具有一公共点的多个铜带分别连接在所用于的等离子体设备的喷淋板，将高频加载在喷淋板上，通过调节可调电容实现负载阻抗和传输线的特征阻抗的匹配。本发明设计的这种电路将电感元件固定，将电容元件设计可调节的部分，既能简化电路，减少可变环节，又能起到多路调节网络所能起到的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 等离子体 设备 配器 | ||
【主权项】：
1.一种射频等离子体设备匹配器，该匹配器与射频电源的滤波电路输出端连接，其特征在于，包括一固定不可调的电感与可调电容并联形成匹配网络电路，匹配网络电路的一端与射频电源连接作为输入端，另一端通过具有一公共点的多个铜带分别连接在所用于的等离子体设备的喷淋板，将高频加载在喷淋板上，通过调节可调电容实现负载阻抗和传输线的特征阻抗的匹配；可调电容采用可变真空电容；电感由铜管绕制而成，在电感绕制完成后要镀上一层银。
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