[发明专利]一种等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套

摘要

一种等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，衬套主体为四段阶梯轴结构，阶梯轴的轴心设置有通孔，第一段轴左端面设置有数个绕圆周均布的水道接头安装槽，每个水道接头安装槽旁均设置有与衬套主体内壁相通的冷却水道，每个水道接头安装槽均连接有水道接头，第一段轴右端面设置有密封圈安装槽A；衬套主体的大端向右依次设置有的第二段轴、第三段轴、第四段轴，第三段轴的中部外圈设置有沟槽，沟槽中部设置有铝圈，铝圈的中部设置有凸台，凸台两侧与沟槽之间均设置有数个绕圆周均布的钕铁硼永久磁铁。本发明结构合理，能有效地约束等离子体，减少了等离子体对反应腔室的腐蚀，延长了设备的使用寿命，降低了设备的维护成本。

主权项

一种等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，包括衬套主体(1)，其特征在于：所述的衬套主体(1)为四段阶梯轴结构，阶梯轴的轴心设置有通孔，衬套主体(1)的左端第一段轴为大端，第一段轴左端面设置有数个绕圆周均布的水道接头安装槽(104)，每个水道接头安装槽(104)旁均设置有与衬套主体(1)内壁相通的冷却水道(101)，每个水道接头安装槽(104)均连接有水道接头(4)，第一段轴右端面设置有密封圈安装槽A(103)，密封圈安装槽A(103)内安装有密封圈；衬套主体(1)的大端向右依次设置有的第二段轴、第三段轴、第四段轴，其中第四段轴为小端，第二段轴与第四段轴外径相同，第三段轴的外径大于第二段轴的外径且小于第一段轴的外径，第三段轴的中部外圈设置有沟槽(102)，沟槽(102)中部设置有铝圈(201)，铝圈(201)的中部设置有凸台，凸台两侧与沟槽(102)之间均设置有数个绕圆周均布的钕铁硼永久磁铁(2)，凸台及两侧钕铁硼永久磁铁(2)的外圈设置有盖板(3)，盖板(3)由盖板A(301)和盖板B(302)拼合而成；所述的盖板(3)外径等于衬套主体(1)的第三段轴外径；所述的水道接头(4)包括接头主体(401)，接头主体(401)为两段阶梯轴结构，阶梯轴的轴心设置有螺纹孔(403)，螺纹孔(403)内固定有冷却水管；接头主体(401)的左端为小端，接头主体(401)的左端面上设置有密封圈安装槽B(402)，密封圈安装槽B(402)内安装有密封圈。