[发明专利]电池片背面抛光用水膜厚度控制装置有效
| 申请号： | 201510559472.5 | 申请日： | 2015-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN105118802B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 程建新;雷杰 | 申请（专利权）人： | 昊诚光电（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215400 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电池片背面抛光用水膜厚度控制装置，其提高了电池片蚀刻中的水膜均匀性。一种电池片背面抛光用水膜厚度控制装置，设置在水膜喷淋装置和刻蚀槽之间，所述水膜厚度控制装置包括沿电池片的输送方向依次排布的减薄机构、匀厚机构，所述减薄机构和匀厚机构形成太阳能电池片的输送通道，所述匀厚机构包括至少一个的第一匀厚滚轮，所述第一匀厚滚轮的圆周面上设置有螺纹以在接触电池片表面时带走电池片上张力过大的水膜。 | ||
| 搜索关键词： | 电池 背面 抛光 用水膜 厚度 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种电池片背面抛光用水膜厚度控制装置，设置在水膜喷淋装置和刻蚀槽之间，其特征在于：所述水膜厚度控制装置包括沿电池片的输送方向依次排布的减薄机构、匀厚机构，所述减薄机构和匀厚机构形成太阳能电池片的输送通道，所述匀厚机构包括至少一个的第一匀厚滚轮，所述第一匀厚滚轮的圆周面上设置有螺纹以在接触电池片表面时带走电池片上张力过大的水膜，所述输送通道位于所述第一匀厚滚轮的上方，所述减薄机构包括输送滚轮和减薄滚轮，所述输送通道位于所述输送滚轮和所述减薄滚轮之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
