[发明专利]离子形成容器以及离子源有效
| 申请号： | 201510561097.8 | 申请日： | 2015-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN106498360B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 许飞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子形成容器以及离子源，离子形成容器包括：容器本体，容器本体包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁；第一阴极，第一阴极设置于第一侧壁中，在第一阴极上加上第一电压；第二阴极，第二阴极设置于第一侧壁中，并将第一阴极包围，在第二阴极上加上第二电压，容器本体上加上第三电压；其中，第二阴极的材料为钨镧合金材料，并且，第一电压小于第二电压，第二电压小于第三电压。本发明中，第二阴极采用钨镧合金材料，在形成热电子的过程中，镧金属使得第二阴极的表面保持平整，使得第二阴极保持表面平整，提高第二阴极的寿命，从而避免由于第二阴极的膨胀导致的第二阴极与容器本体的短路现象，提高离子源的使用使命。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 形成 容器 以及 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种离子形成容器，其特征在于，包括：容器本体，所述容器本体包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁；第一阴极，所述第一阴极设置于所述第一侧壁中，在所述第一阴极上加上第一电压；第二阴极，所述第二阴极设置于所述第一侧壁中，并将所述第一阴极包围，在所述第二阴极上加上第二电压，所述容器本体上加上第三电压；其中，所述第二阴极的材料为钨镧合金材料，并且，所述第一电压小于所述第二电压，所述第二电压小于所述第三电压。
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