[发明专利]一种同时测量表面磁性和表面电势的方法有效
| 申请号： | 201510561823.6 | 申请日： | 2015-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN106501552B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 钟海舰;刘争晖;徐耿钊;樊英民;黄增立;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/50 | 分类号： | G01Q60/50 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 215125 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种同时测量表面磁性和表面电势的方法，包括如下步骤：（1）磁性原子力显微镜探针以第一本征频率振动，待测样品进行第一次扫描，获得待测样品表面形貌曲线；（2）将磁性原子力显微镜探针抬起预定高度，以第一本征频率振动，将一频率等于磁性原子力显微镜探针的第二本征频率的交流信号与直流偏压施加到磁性原子力显微镜探针上后，按照待测样品表面形貌曲线对待测样品进行第二次扫描；（3）调节直流偏压，若振幅和/或频率信号为零，则磁性原子力显微镜探针与待测样品等电位，输出该直流偏压，获得待测样品表面电势；对磁性原子力显微镜探针第一本征频率处的振幅和/或频率和/或相位信号进行反馈，得到待测样品表面磁畴分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同时 测量 表面 磁性 电势 方法 | ||
【主权项】：
1.一种同时测量表面磁性和表面电势的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)使磁性原子力显微镜探针以第一本征频率振动，并对待测样品进行第一次扫描，获得待测样品表面形貌曲线；(2)将所述磁性原子力显微镜探针抬起预定高度，并以第一本征频率振动，同时将一频率等于所述磁性原子力显微镜探针的第二本征频率的交流信号与一直流偏压施加到所述磁性原子力显微镜探针上后，按照在步骤(1)中测量得到的待测样品表面形貌曲线对待测样品进行第二次扫描；(3)调节所述直流偏压，且对所述磁性原子力显微镜探针第二本征频率处的振幅和/或频率信号进行反馈，若所述振幅和/或频率信号为零，则所述磁性原子力显微镜探针与待测样品等电位，输出该直流偏压，获得待测样品表面电势；若所述磁性原子力显微镜探针与待测样品等电位，则对所述磁性原子力显微镜探针第一本征频率处的振幅和/或频率和/或相位信号进行反馈，得到待测样品表面磁畴分布；在步骤(2)中，一光电二极管照射所述磁性原子力显微镜探针，光电二极管发出的光信号被所述磁性原子力显微镜探针反射后，被一光电探测器捕获，并将该光信号转换为电信号输入第一锁相放大器和第二锁相放大器，所述光信号是包含第一本征频率探测到的磁力信号和第二本征频率探测到的表面电势信号的混合信号；在步骤(3)中，所述第二锁相放大器对所述磁性原子力显微镜探针第二本征频率处的振幅或频率信号进行反馈，获得待测样品表面电势的变化曲线；所述第一锁相放大器对所述磁性原子力显微镜探针第一本征频率处的振幅、频率或相位信号进行反馈，得到待测样品表面磁畴分布。
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