[发明专利]外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法

摘要

本发明的外包晶圆测试品质检验系统，包括外包制造系统、品质标准系统、数据结果系统、外包产品处置系统以及接口系统。本发明的外包晶圆测试品质检验方法中，外包商测试完成后，数据结果系统自动收集和计算每一批次的测试结果，并将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果，将不合格的批次晶圆传送到产品处置系统中进行复审，从而发包商仅需对测试过程中发现问题的批次作审查和处置，可大幅缩减发包商和承包商的沟通、系统操作和等待时间，提高晶圆测试的效率和完工品质检验效率。

主权项

一种外包晶圆测试品质检验系统，用于发包商对承包商系统的测试数据进行检验，其特征在于，包括：外包制造系统，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；品质标准系统，用于存储晶圆的测试流程和品质标准；数据结果系统，用于接收和存储每一批次晶圆的测试数据，并将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；外包产品处置系统，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；接口系统，用于所述外包制造系统、所述品质标准系统、所述数据结果系统以及所述外包产品处置系统与所述承包商系统之间的数据传递。