[发明专利]膜厚度测量装置和膜厚度测量方法有效
| 申请号： | 201510564718.8 | 申请日： | 2015-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN105403178B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 高柳顺;大竹秀幸;相京秀幸;藤沢泰成;锅岛淳男 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏金霞;高源 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种膜厚度测量装置和方法，膜厚度测量装置包括：太赫兹波发生器(19)；棱镜(21)，该棱镜具有入射面(69)、邻接面(70)和出射面(71)，该邻接面(70)能够与包括第一膜(31a)的样品(3)的形成有第一膜(31a)的一侧上的表面邻接；太赫兹波检测器(23)，该太赫兹波检测器(23)检测从棱镜(21)的出射面(71)出射的、样品(3)的反射波的S‑偏振分量和P‑偏振分量；以及控制部(6)，该控制部(6)构造成基于反射波的S‑偏振分量的时间波形与反射波的P‑偏振分量的时间波形之间的差来确定形成在样品(3)中的第一膜(31a)的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 厚度 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚度测量装置，其特征在于包括：太赫兹波发生器(19)，所述太赫兹波发生器(19)产生太赫兹波；棱镜(21)，所述棱镜(21)具有入射面(69)、邻接面(70)和出射面(71)，使从所述赫兹波发生器(19)出射的所述太赫兹波经由所述入射面(69)入射，所述邻接面(70)能够与包括第一膜(31a；31d)的样品(3)的形成有所述第一膜(31a；31d)的一侧上的表面邻接，从所述样品(3)反射的反射波自所述出射面(71)出射；太赫兹波检测器(23)，所述太赫兹波检测器(23)检测自所述棱镜(21)的所述出射面(71)出射的所述反射波的S‑偏振分量和P‑偏振分量；以及控制部(6)，所述控制部(6)构造成基于所述反射波的所述S‑偏振分量的时间波形与所述反射波的所述P‑偏振分量的时间波形之间的差来确定形成在所述样品(3)中的所述第一膜(31a；31d)的厚度，其中，所述样品(3)还包括第二膜(31b；31e)，所述第二膜(31b；31e)形成在所述第一膜(31a；31d)上并且包含导电粒子和孔穴中的一者，并且其中，所述控制部(6)构造成基于通过使用第二窗函数对所述反射波的所述S‑偏振分量的时间波形数据和所述反射波的所述P‑偏振分量的时间波形数据中的一者进行反褶积处理而获得的时间波形中的波峰来确定所述第二膜(31b；31e)的厚度；以及所述控制部(6)构造成基于通过使用所述第二窗函数对所述反射波的所述S‑偏振分量的所述时间波形数据进行所述反褶积处理而获得的所述S‑偏振分量的所述时间波形与通过使用所述第二窗函数对所述反射波的所述P‑偏振分量的所述时间波形数据进行所述反褶积处理而获得的所述P‑偏振分量的所述时间波形之间的差来确定所述第一膜(31a；31d)的所述厚度，其中，所述差为所述S‑偏振分量的所述时间波形到达阈值时的正时与所述P‑偏振分量的所述时间波形到达所述阈值时的正时之间的时间差。
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