[发明专利]一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板

摘要

本发明属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域，具体涉及一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板，包括陶瓷挡板本体、金属夹紧结构和支撑杆，所述陶瓷挡板本体的外围下部设有一体制造的突出部，突出部上有螺钉孔，金属夹紧结构由锁紧螺钉、锁紧垫片、上固定块和下固定块组成，其中锁紧垫片和上固定块上都设有贯穿的螺钉孔，下固定块上表面有螺纹孔，下表面设有销孔，支撑杆能够与销孔形成间隙配合，使陶瓷挡板、金属夹紧结构和支撑杆成为一个整体，使该结构在反应腔室特殊环境下，陶瓷材料与金属的连接不会受热胀裂，不会连接失效，不会发生放电等现象，保证薄膜沉积工艺的顺利进行。

主权项

一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板，其特征在于，包括：陶瓷挡板本体，其上设有一圈抽气孔，在所述陶瓷挡板本体外侧下部设有带螺钉孔A的突出部，所述突出部与陶瓷挡板本体一体制造；金属夹紧结构，由锁紧螺钉、锁紧垫片、上固定块和下固定块组成，所述锁紧垫片上设有螺钉孔B，所述上固定块上设有螺钉孔C，所述下固定块上表面设有螺纹孔，下表面设有销孔，所述锁紧螺钉穿过锁紧垫片和上固定块上的螺钉孔后，再穿过所述陶瓷挡板本体上的螺钉孔，与所述下固定块上的螺纹孔配合，将所述陶瓷挡板本体与所述金属夹紧结构锁紧成一个整体；以及支撑杆，上端与所述下固定块的销孔间隙配合，下端连接马达。