[发明专利]圆环片铬版曝光治具及曝光方法

摘要

本发明公开一种圆环片铬版曝光治具，包括基板，基板上开设有贯穿基板的阶梯槽孔，阶梯槽孔包括靠基板第一侧表面用于定位母版的第一定位槽和靠基板第二侧表面用于定位待曝光的子版的第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽均是横截面为正方形的槽孔并共轴心设置，第二定位槽的槽宽大于第一定位槽的槽宽，第一定位槽的槽深和槽宽分别与母版的厚度和直径相匹配，第二定位槽的槽宽与子版的直径相匹配。本发明还提供一种圆环片铬版曝光方法。本发明采用同轴心设置且正方形横截面的第一定位槽和第二定位槽构成阶梯槽孔，很好地保证母版和子版的同心度，制得的铬版同心度精度高，质量稳定可靠，有效解决了传统方法存在的报废成本高，切割良率低的缺陷。

主权项

一种圆环片铬版曝光治具，其特征在于，所述治具包括基板，所述基板上开设有贯穿基板的阶梯槽孔，所述阶梯槽孔包括靠基板第一侧表面用于定位母版的第一定位槽和靠基板第二侧表面用于定位待曝光的子版的第二定位槽，所述第一定位槽和第二定位槽均是横截面为正方形的槽孔并共轴心设置，第二定位槽的槽宽大于第一定位槽的槽宽，第一定位槽的槽深和槽宽分别与母版的厚度和直径相匹配，第二定位槽的槽宽与子版的直径相匹配。