[发明专利]一种离轴抛物面镜面形精度的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201510567241.9 | 申请日： | 2015-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN105115444B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 施丽敏 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 陈淑章 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离轴抛物面镜面形精度的检测装置，由斐索干涉仪、标准球面镜、辅助凹球面柱、基座盘、五维调整架、标准平面镜、二维调整架、承托固定底板、第一底座以及第二底座组成；所述斐索干涉仪上安装有所述标准球面镜，所述标准球面镜是所述斐索干涉仪的光束输出窗口；所述基座盘位于所述斐索干涉仪的下方，所述基座盘上设有待测离轴抛物面镜和辅助凹球面柱；所述基座盘设于所述五维调整架顶面；所述标准平面镜设于所述二维调整架的底面；所述二维调整架位于所述待测离轴抛物面镜的上方。本发明的离轴抛物面镜面形精度的检测装置能够快速准确地测量离轴抛物面镜的面形精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛物面镜 精度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离轴抛物面镜面形精度的检测装置，其特征在于，该装置由斐索干涉仪(1)、标准球面镜(2)、辅助凹球面柱(4)、基座盘(8)、五维调整架(7)、标准平面镜(5)、二维调整架(6)、承托固定底板(9)、第一底座(10)以及第二底座(11)组成；所述斐索干涉仪(1)上安装有所述标准球面镜(2)，所述标准球面镜(2)是所述斐索干涉仪(1)的光束输出窗口；所述基座盘(8)位于所述斐索干涉仪(1)的下方，所述基座盘(8)上设有待测离轴抛物面镜(3)和辅助凹球面柱(4)，所述基座盘(8)呈圆形，所述辅助凹球面柱(4)设于所述基座盘(8)的中心处，所述待测离轴抛物面镜(3)在所述基座盘(8)的四周呈中心对称分布，所述辅助凹球面柱(4)的凹球面曲率半径与所述待测离轴抛物面镜(3)的焦距相等，所述辅助凹球面柱(4)的最低点与所述待测离轴抛物面镜(3)的顶点重合；所述基座盘(8)设于所述五维调整架(7)顶面；所述标准平面镜(5)设于所述二维调整架(6)的底面；所述二维调整架(6)位于所述待测离轴抛物面镜(3)的上方；所述五维调整架(7)固定于所述承托固定底板(9)上；所述承托固定板(9)设于所述第二底座(11)上；所述斐索干涉仪(1)、二维调整架(6)设于所述第一底座(10)上。
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