[发明专利]一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机有效
申请号: | 201510568427.6 | 申请日: | 2015-09-08 |
公开(公告)号: | CN105132866B | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 邹清华;于剑伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人: | 李桦 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机,涉及蒸镀技术领域。为解决现有技术线性加热源装置清洁维护耗时较长,难度较大的问题而发明。本发明蒸镀机的加热源装置,包括加热箱体,所述加热箱体内部设有加热腔,所述加热箱体连接有加热源,所述加热箱体的顶部设有开口;内层箱体,所述内层箱体设置于所述加热箱体的加热腔内,所述内层箱体可由所述加热箱体的加热腔内取出;喷嘴组件,所述喷嘴组件包括喷嘴,所述喷嘴设置于所述内层箱体的顶部;坩埚,所述坩埚设置于所述内层箱体的内部,所述坩埚可由所述内层箱体的内部取出。本发明蒸镀机的加热源装置及蒸镀机可用于制作有机发光二极管的有机功能层。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸镀机 热源 装置 | ||
【主权项】:
一种蒸镀机的加热源装置,其特征在于,包括:加热箱体,所述加热箱体内部设有加热腔,所述加热箱体连接有加热源,所述加热源可对所述加热腔加热,所述加热箱体的顶部设有开口;内层箱体,所述内层箱体设置于所述加热箱体的加热腔内,所述内层箱体由导热材料制成,并且所述内层箱体可由所述加热箱体的加热腔内取出;喷嘴组件,所述喷嘴组件包括喷嘴,所述喷嘴设置于所述内层箱体的顶部,所述喷嘴的进气口与所述内层箱体的内部连通,所述喷嘴设有出气口的一端穿过所述加热箱体顶部的开口设置;坩埚,所述坩埚设置于所述内层箱体的内部,且所述坩埚可由所述内层箱体的内部取出;所述喷嘴组件与所述内层箱体的顶壁可拆卸连接;所述喷嘴组件还包括固定板,所述喷嘴连接于所述固定板上,所述内层箱体的顶壁设有安装插槽,所述固定板配合插设于所述安装槽内;所述内层箱体的顶壁为双层结构,包括上层顶板和下层顶板,所述上层顶板和下层顶板之间形成所述安装插槽,所述下层顶板对应所述喷嘴的位置设有与所述喷嘴的进气口连通的通孔,所述上层顶板对应所述喷嘴的位置设有允许所述喷嘴穿过的开槽。
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