[发明专利]一种动磁式长行程超精密直线运动机构

摘要

本发明公开了一种动磁式长行程超精密直线运动机构，包括定子线圈组件、气浮支承组件和永磁体动子组件，定子线圈组件包括定子气浮导轨和电感组件；气浮支承组件包括气浮轴承；永磁体动子组件包括动子基座、永磁体安装座及永磁体组，动子基座固定安装在气浮轴承上，动子基座向下设置永磁体安装座，每个永磁体安装座上安装一永磁体组，永磁体组包括多个永磁体，并且同一永磁体安装座上的永磁体的同一侧磁场极性相同，以用于驱动永磁体组和气浮轴承沿定子气浮导轨的纵向移动。本发明采用均匀布置的长行程线圈绕组作为定子，与传统的以永磁体组做定子的直线电机相比，可以显著降低甚至避免因永磁体磁场不均导致的电磁驱动力波动。

主权项

一种动磁式直线运动机构，包括定子线圈组件、气浮支承组件和永磁体动子组件，其特征在于：所述定子线圈组件包括一个以上的定子气浮导轨和一个以上的电感组件，其中，每个电感组件均包括线圈铁芯和线圈绕组，每个线圈铁芯分别固定连接在一定子气浮导轨上且其纵向与定子气浮导轨的纵向一致；所述气浮支承组件包括气浮轴承，所述气浮轴承能与定子气浮导轨之间形成气浮气膜并能沿定子气浮导轨的纵向移动；所述永磁体动子组件包括动子基座、一个以上的永磁体安装座及一个以上的永磁体组，其中，所述动子基座固定安装在气浮轴承上，所述动子基座的下部设置所述的永磁体安装座，并且所述永磁体安装座位于所述动子基座的下方；每个永磁体安装座上分别安装一永磁体组；所述永磁体组包括多个永磁体，并且同一永磁体安装座上的永磁体的同一侧磁场极性相同，以用于与通直流电的线圈绕组相互作用而产生电磁驱动力，从而驱动永磁体组和气浮轴承沿定子气浮导轨的纵向移动。