[发明专利]一体式旋转结构动平衡的修正装置和修正方法有效
| 申请号： | 201510570722.5 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106527050B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;伍强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一体式旋转结构动平衡的修正装置和修正方法，其中所述修正方法包括提供一体式旋转结构，所述一体式旋转结构包括聚光镜，所述聚光镜包括内凹的第一表面以及相对的第二表面；一体式旋转结构旋转；进行动平衡偏移值测量步骤，测量获得一体式旋转结构旋转至少一周时第二表面的不同位置的对应的动平衡偏移值；进行待轰击位置获得步骤，获得最大动平衡偏移值对应的第二表面上的待轰击位置；进行轰击步骤，采用激光束轰击待轰击位置对应的聚光镜的第二表面，去除部分聚光镜材料。本发明的方法修正一体式旋转结构的动平衡，提高了EUV光源的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 旋转 结构 动平衡 修正 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种一体式旋转结构动平衡的修正方法，其特征在于，包括：提供一体式旋转结构，所述一体式旋转结构包括聚光镜、与聚光镜的一体连接的电机驱动轴，所述聚光镜包括内凹的第一表面以及相对的第二表面，第二表面与电机驱动轴相连接，所述第一表面包括偏心且倾斜的椭球形反射面以及包围椭球形反射面的非反射面；一体式旋转结构旋转，进行动平衡偏移值测量步骤，测量获得一体式旋转结构旋转至少一周时第二表面的不同位置的对应的动平衡偏移值；进行待轰击位置获得步骤，获得最大动平衡偏移值对应的第二表面上的待轰击位置；进行轰击步骤，采用激光束轰击待轰击位置对应的聚光镜的第二表面，去除部分聚光镜材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510570722.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
