[发明专利]一种精密定位平台动态平面度的测量方法

摘要

本发明提供一种精密定位平台动态平面度的测量方法，在所测精密定位平台上安装真空吸盘，在真空吸盘上吸附带有规则排列的定位标记的测试板，借助图像采集系统和自动聚焦系统，测量出不同位置下精密定位平台X轴和Y轴的动态平面度，并绘制成曲线。本发明适用于直写光刻技术或用到精密定位平台的其他技术领域，比传统的激光干涉仪测量成本低、易操作，本发明所述图像匹配和自动聚焦测量动态平面度的方法，测量精度高，误差为亚微米级别,可以有效评估精密定位平台的动态性能。

主权项

一种精密定位平台动态平面度的测量方法，所述精密定位平台具有X轴、Y轴和Z轴，所述精密定位平台上端依次设置有真空吸盘和测试板，所述精密定位平台上方安装有图像采集系统和自动聚焦系统，所述测试板上曝光有规则排列的定位标记并刻蚀，相邻所述定位标记X方向的间距为a，Y方向的间距为b，其特征在于，所述测量方法包括如下步骤：1)用图像匹配法和自动聚焦功能驱动精密定位平台，将测试板其中一定位标记调至最佳焦面并使其移动到图像采集系统的中心，记录此时平台坐标(x1,y1,zx1)；2)测得X轴在Y轴不同位置时的平面度，重复步骤1)采集Z轴坐标，拟合并计算出X轴在Y轴不同位置时的动态平面度；3)测得Y轴在X轴不同位置时的平面度，重复步骤1)采集Z轴坐标，拟合并计算出Y轴在X轴不同位置时的动态平面度；4)将以上步骤2)和步骤3)所采集的所有Z轴坐标，拟合并计算出整个XY平面内所述精密定位平台的二维动态平面度；所述步骤1)的具体方法为：11)移动测试板，保证其上定位标记的排列方向和精密定位平台的XY轴的移动方向一致；12)精密定位平台在Z轴方向上移动，找到测试板的粗焦面，然后启用自动聚焦，找到测试板的精确焦面；13)精密定位平台在X轴和Y轴上移动，使测试板上其中一定位标记移动至图像采集系统中心，启用图像匹配法，使定位标记精确移动至图像采集系统中心，并再次启用自动聚焦，确定精确焦面，根据此时精密定位平台的Z轴读数，记录平台坐标(x1,y1,zx1)。