[发明专利]静电放电保护结构在审

专利信息
申请号: 201510571157.4 申请日: 2015-09-10
公开(公告)号: CN106531726A 公开(公告)日: 2017-03-22
发明(设计)人: 吕宇强 申请(专利权)人: 帝奥微电子有限公司
主分类号: H01L23/60 分类号: H01L23/60;H01L27/02
代理公司: 上海宏威知识产权代理有限公司31250 代理人: 袁辉
地址: 201103 上海市闵行区合*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种静电放电保护结构,其特征在于,包括具有第一掺杂类型或者第二掺杂类型的衬底;具有第一掺杂类型的体区,设置于该衬底上;具有重掺杂的第二掺杂类型的第一有源区,设置于该体区内;具有轻掺杂的第二掺杂类型的漂移区,设置于该衬底上;栅极结构,部分覆盖于该第一有源区以及该漂移区上;具有重掺杂的第二掺杂类型的第二有源区,设置于该漂移区未被该栅极结构覆盖的位置上;以及具有重掺杂的第二掺杂类型的第三有源区,设置于该漂移区被该栅极结构覆盖的部分与该第二有源区之间。
搜索关键词: 静电 放电 保护 结构
【主权项】:
一种静电放电保护结构,其特征在于,包括:衬底,具有第一掺杂类型或者第二掺杂类型;体区,设置于该衬底上,具有第一掺杂类型;第一有源区,设置于该体区内,具有重掺杂的第二掺杂类型;漂移区,设置于该衬底上,具有轻掺杂的第二掺杂类型;栅极结构,部分覆盖于该第一有源区以及该漂移区上;第二有源区,设置于该漂移区未被该栅极结构覆盖的位置上,具有重掺杂的第二掺杂类型;以及第三有源区,设置于该漂移区被该栅极结构覆盖的部分与该第二有源区之间,具有重掺杂的第二掺杂类型;其中,该第三有源区的长度为第一长度,且与该第二有源区之间的距离为第二长度。
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