[发明专利]波纹膜片式法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法在审
申请号: | 201510571383.2 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN105092122A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 王鸣;陈露;朱佳利;沈萌 | 申请(专利权)人: | 南京师范大学 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24;G01L11/02 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 李媛媛 |
地址: | 210097 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种波纹膜片式法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法。光纤压力传感器包括波纹膜片、玻璃圆环、光纤法兰盘和光纤插头,其中,玻璃圆环的一个端面与波纹膜片粘结,其另一端的外壁与光纤法兰盘的凹槽粘结;光纤插头与光纤法兰盘耦合,光纤插头位于玻璃圆环的内部,且光纤插头的端面与波纹膜片的表面形成法布里-珀罗腔。本发明的波纹膜片式法布里-珀罗压力传感器是对现有的压力传感器技术的提高和补充,能够满足科学研究和生产需求,有望解决传感器向微型化发展和批量生产时遇到的问题,适用于强电磁干扰、易燃易爆等恶劣环境,在石油化工和航空航天领域有广泛应用前景。 | ||
搜索关键词: | 波纹 膜片 式法布里 珀罗型 光纤 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
波纹膜片式法布里-珀罗型光纤压力传感器,包括波纹膜片、玻璃圆环、光纤法兰盘和光纤插头,其特征在于,所述玻璃圆环的一个端面与波纹膜片粘结,其另一端的外壁与光纤法兰盘的凹槽粘结;所述光纤插头与光纤法兰盘耦合,光纤插头位于玻璃圆环的内部,且光纤插头的端面与波纹膜片的表面形成法布里-珀罗腔。
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