[发明专利]一种高效多晶硅铸锭的制备方法在审

专利信息
申请号: 201510572730.3 申请日: 2015-09-10
公开(公告)号: CN105154970A 公开(公告)日: 2015-12-16
发明(设计)人: 段金刚;明亮;谭晓松;瞿海斌;陈国红 申请(专利权)人: 湖南红太阳光电科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 410205 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种高效多晶硅铸锭的制备方法,该制备方法使用DSS炉,所述DSS炉包括坩埚、加热器、隔热笼、控温热电偶TC1和测温热电偶TC2,包括以下步骤:(1)当硅料进入熔化阶段时,打开隔热笼,保持隔热笼的开度为5-40mm,控制控温热电偶TC1的温度为1530-1560℃;(2)当坩埚底部未熔化的硅料厚度为30-50mm时,控制控温热电偶TC1的温度为1500-1540℃,使隔热笼的开度扩大5-65mm,并保持隔热笼的开度为40-70mm;(3)当坩埚底部未熔化的硅料厚度为10-20mm时,熔化阶段结束,进入多晶硅长晶阶段,再经退火、冷却得到多晶硅铸锭。该方法可以使籽晶熔化更易控制,熔化界面更加平坦;制成的多晶硅籽晶保留面积更大,晶粒均匀,整锭硅片的平均电池效率可达17.9%以上,效率17.8%以上硅片比例大于80.0%。
搜索关键词: 一种 高效 多晶 铸锭 制备 方法
【主权项】:
 一种高效多晶硅铸锭的制备方法,该制备方法使用DSS炉,所述DSS炉包括坩埚、加热器、隔热笼、控温热电偶TC1和测温热电偶TC2,其特征在于,包括以下步骤:(1) 当硅料进入熔化阶段时,打开隔热笼,保持隔热笼的开度为5‑40mm,控制控温热电偶TC1的温度为1530‑1560℃;(2) 当坩埚底部未熔化的硅料厚度为30‑50mm时,控制控温热电偶TC1的温度为1500‑1540℃,使隔热笼的开度扩大5‑65mm,并保持隔热笼的开度为40‑70mm;(3) 当坩埚底部未熔化的硅料厚度为10‑20mm时,熔化阶段结束,进入多晶硅长晶阶段,再经退火、冷却得到多晶硅铸锭。
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