[发明专利]含辅助加料结构的单晶炉及其应用有效
| 申请号： | 201510573384.0 | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN105239153B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 李秦霖;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201604 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种含有辅助加料结构的单晶炉及其应用，其特征在于该单晶硅生长炉内部装有辅助加料结构，该辅助加料结构带有独立的称重装置，可在辅助加料的同时，实时监控辅助原料的加入量，从而能实现单晶硅掺杂浓度的精确控制，有利于稳定单晶硅轴向电阻率，以及满足特殊掺杂需求单晶硅晶锭生长。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 加料 结构 单晶炉 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种含辅助加料结构的单晶炉，其特征在于在上部热屏的水平保温热屏(12)之上设有由气缸(18)、导杆(28)、称重导杆(33)、称重传感器(30)、称重传感器固定支座(29)、辅料夹具(34)、称重杠杆(35)组成的辅助加料结构；气缸(18)竖立固定于单晶炉上部炉壁(3)上，导杆(28)和称重导杆(33)相互平行且竖直穿过水平保温热屏(12)，并分别由第一滑块(27)和第二滑块(31)固定于水平保温热屏(12)上；称重导杆(33)下端与称重杠杆(35)的一端垂直硬连接，气缸(18)所连导杆(28)的下端与称重杠杆(35)活动连接形成支点(32)，称重杠杆(35)的另一端连接设有圆环形辅料夹具(34)；辅料夹具(34)上开有卡槽或通孔，用于固定所需添加的辅料(23)；在导杆(28)上固定有与导杆(28)相垂直的带有冷却循环水装置的称重传感器固定支座(29)，用于在其下方固定称重传感器(30)，使称重导杆(33)垂直顶压在称重传感器(30)上；称重传感器(30)位于上部热屏的水平保温热屏(12)上方；所述称重杠杆(35)上的支点(32)距离辅料夹具(34)的力臂长度不小于称重杠杆(35)总长度的5/6；所述的称重杠杆(35)、辅料夹具(34)由高纯SiO2陶瓷或SiO2玻璃制成；所述辅料夹具(34)距离石英坩埚壁的垂直距离不小于50mm。/n
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