[发明专利]一种OLED器件蒸发镀膜装置在审
| 申请号： | 201510574072.1 | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN106521422A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 郎丰伟;田朝勇 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/20 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED器件蒸发镀膜装置，包括用于放置有机物的坩埚，坩埚通过坩埚固定装置安装在腔体底部，坩埚固定装置穿设于腔体的底部；坩埚内设有搅拌轴，搅拌轴的下端固定在坩埚底部，坩埚的下端通过连接部与在腔体外部的旋转机构相连。本发明所提供的OLED器件蒸发镀膜装置，在坩埚内安装搅拌轴，将坩埚连接在真空腔体外部的旋转机构上，为了防止有机物凝固，在等待蒸镀的一段时间内，旋转坩埚，旋转机构使坩埚在蒸镀有机薄膜的过程中也一直保持旋转，从而在基板上形成均匀厚度的有机膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 器件 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种OLED器件蒸发镀膜装置，其特征在于：包括用于放置有机物(42)的坩埚(40)，坩埚(40)通过坩埚固定装置(60)安装在腔体(70)底部，坩埚固定装置(60)穿设于腔体(70)的底部；坩埚(40)内设有搅拌轴(50)，搅拌轴(50)的下端固定在坩埚(40)底部，坩埚(40)的下端通过连接部(82)与在腔体(70)外部的旋转机构(80)相连。
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