[发明专利]微结晶蓝宝石抛光液

摘要

本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液，其由下述重量百分比的原料组成纳米二氧化硅 20－40%；碱性化合物1－10%；分散剂0.1－3%；表面活性剂0.1－3%；保湿成分0.1－3%；吸湿成分0.1－5%；余量为去离子水。本发明抛光液在加入保湿成分的同时加入吸湿成分，这样可以在减少水分蒸发的基础上吸收空气中的水分，使抛光液不易凝结在机台上，同时不易风干在蓝宝石晶片表面，降低了后期清洗工艺的难度，提高了生产效率。

主权项

一种微结晶蓝宝石抛光液，其特征在于，由下述重量百分比的原料组成：纳米二氧化硅   20－40%；碱性化合物     1－10%；分散剂         0.1－3%；表面活性剂     0.1－3%；保湿成分       0.1－3%；吸湿成分       0.1－5%；余量为去离子水；所述纳米二氧化硅的直径在90－150nm；所述的碱性化合物为氢氧化钠、氢氧化钾、乙二胺、羟乙基乙二胺或四甲基氢氧化铵；所述的分散剂为六偏磷酸钠或聚乙二醇；所述的保湿成分为聚乙烯醇或羟乙基纤维素；所述的吸湿成分为碳酸钠或碳酸钾。