[发明专利]一种磁控溅射镀膜工件台在审
| 申请号： | 201510576683.X | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105112879A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 陈庆广;陈特超;佘鹏程;毛朝斌 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射镀膜工件台，包括基片台、安装法兰、加热体、热偶和调速电机，所述基片台用来安装基片，所述调速电机的输出端通过联轴器、磁流体与基片台相连并可带着基片台旋转；所述安装法兰安装在真空腔体上，所述加热体和热偶固定于安装法兰上。本发明具有自动化程度高、基于基片台旋转且速度和温度可控的、能提高镀膜均匀性和膜黏附力等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 工件 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜工件台，其特征在于，包括基片台（8）、安装法兰（5）、加热体（9）、热偶（6）和调速电机（1），所述基片台（8）用来安装基片，所述调速电机（1）的输出端通过联轴器（3）、磁流体（4）与基片台（8）相连并可带着基片台（8）旋转；所述安装法兰（5）安装在真空腔体上，所述加热体（9）和热偶（6）固定于安装法兰（5）上。
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