[发明专利]自准直光栅干涉仪高光学细分结构

摘要

一种自准直光栅干涉仪高光学细分结构，包括光栅标尺，第一直角棱镜、第二直角棱镜、第三直角棱镜、第四直角棱镜、第五直角棱镜、第六直角棱镜、第一反射镜，第二反射镜。本发明使光栅干涉仪的测量光束在高衍射效率的光栅标尺和反射镜之间来回反射，同时充分利用光栅在布拉格角度下更容易获得高衍射效率的特点以增加被光栅标尺衍射的次数，从而达到光学高细分的效果。

主权项

一种自准直光栅干涉仪的高光学细分结构，其特征在于该结构包括：光栅标尺(1)、用于第一测量光束的第一组2M个直角棱镜和第一反射镜(8)，所述的直角棱镜的两直角平面镀增反膜称为增反面，另一个斜平面镀增透膜称为增透面，入射光线与所述的光栅标尺(1)的法线的夹角，即入射角为布拉格角θ，所述的增透面与入射光线或衍射光线垂直，即增透面与光栅标尺的夹角为θ，第一反射镜的反射面与光栅标尺的夹角亦为θ，第一直角棱镜(2)、第二直角棱镜(4)、第三直角棱镜(6)、…、第M直角棱镜与第M+1直角棱镜、第M+2直角棱镜、…、第2M直角棱镜关于所述的光栅标尺(1)的光栅平面相对称；M为大于2的正整数；第一测量光束首次以m阶布拉格角θ入射到光栅标尺(1)后，被光栅标尺衍射，衍射级次为‑m的衍射光与入射光关于所述的光栅标尺的光栅平面对称，衍射光经第一直角棱镜反射，反射光与入射到直角棱镜的入射光平行，方向相反，存在一定的偏移，反射光再次以m阶布拉格角入射到光栅标尺上，透过光栅标尺的‑m级衍射光入射到第二直角棱镜，被第二直角棱镜反射后平行于初始入射光束入射到光栅标尺，依此原理，之后依次通过光栅标尺、第二直角棱镜、光栅标尺、第三直角棱镜、光栅标尺、第一直角棱镜、光栅标尺、第一反射镜(8)，由于第一反射镜的反射面与光栅平面的夹角为m阶布拉格角，使得经光栅标尺衍射的‑m级衍射光垂直入射到第一反射镜上，光束沿原路返回，最后与初始入射光束重合，以与初始入射光束相反的反向射出。