[发明专利]线条三维形貌测量方法及线宽测量方法在审
| 申请号： | 201510584024.0 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN105157557A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 高思田;李伟;王鹤群;施玉书;李琪;李适 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28;G01B7/02;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种基于前凸针尖原子力显微镜针尖对顶的线条三维形貌测量方法和线宽测量方法，所述线条包括顶部以及相对的第一侧壁和第二侧壁，所述三维形貌测量方法包括：采用第一探针扫描所述线条，以得到第一形貌曲线，所述第一形貌曲线至少包括第一侧壁的形貌；采用第二探针扫描所述线条，以得到第二形貌曲线，所述第二形貌曲线至少包括第二侧壁的形貌；将所述第一形貌曲线和第二形貌曲线合成第三形貌曲线，其中，所述采用第一探针扫描的路径和采用第二探针扫描的路径重叠；在所述线条的不同位置重复上述步骤以获得线条的三维形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 线条 三维 形貌 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于前凸针尖原子力显微镜针尖对顶的线条三维形貌测量方法，所述线条包括顶部以及相对的第一侧壁和第二侧壁，所述方法包括：采用第一探针扫描所述线条，以得到第一形貌曲线，所述第一形貌曲线至少包括第一侧壁的形貌；采用第二探针扫描所述线条，以得到第二形貌曲线，所述第二形貌曲线至少包括第二侧壁的形貌；将所述第一形貌曲线和第二形貌曲线合成第三形貌曲线，其中，所述采用第一探针扫描的路径和采用第二探针扫描的路径重叠；在所述线条的不同位置重复上述步骤以获得线条的三维形貌。
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