[发明专利]玻璃基板烘烤装置在审
| 申请号： | 201510585090.X | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN105116570A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 方仲贤;熊燕军;徐涛 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板烘烤装置，用于对基板进行烘烤，所述烘烤装置包括本体、供气组件、与供气组件相对设置的排气组件以及第一保温层，所述本体设有腔体、顶盖及与顶盖连接的周侧板，所述周侧板上设有入口与入口相对的出口，所述供气组件与排气组件设于所述周侧板并与腔体贯通，所述第一保温层覆盖所述周侧板外侧、顶盖外侧及/或所述腔体的内壁上。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板烘烤装置，用于对基板进行烘烤，其特征在于，所述烘烤装置包括本体、供气组件、与供气组件相对设置的排气组件以及第一保温层，所述本体设有腔体、顶盖及与顶盖连接的周侧板，所述周侧板上设有入口与入口相对的出口，所述供气组件与排气组件设于所述周侧板并与腔体贯通，所述第一保温层覆盖所述周侧板外侧、顶盖外侧及/或所述腔体的内壁上。
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