[发明专利]常压化学气相沉积法制备氧化锌基透明导电膜玻璃的方法在审
| 申请号： | 201510585922.8 | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN105271802A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 金良茂;王萍萍;操芳芳;汤永康 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种常压化学气相沉积法制备氧化锌基透明导电膜玻璃的方法，包括如下步骤：(1)将玻璃板加热到预先设定好的温度；(2)使用反应性气体前驱物在所述玻璃板表面先后快速均匀沉积中间层薄膜和透明导电层薄膜；并且(3)将镀完膜的所述玻璃板进行冷却退火，所述退火的温度设定在一个渐变梯度范围。根据本发明实施例的常压化学气相沉积法制备氧化锌基透明导电膜玻璃的方法，设备及原料成本低，易于操作，便于工业化大批量生产。本发明采用合适的前驱物在移动的热玻璃表面沉积了氧化锌基掺杂透明导电氧化物薄膜，得到的透明导电膜具有高透过率、高电导率的特点，在薄膜太阳能电池中应用极广。 | ||
| 搜索关键词： | 常压 化学 沉积 法制 氧化锌 透明 导电 玻璃 方法 | ||
【主权项】：
一种常压化学气相沉积法制备氧化锌基透明导电膜玻璃的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将玻璃板加热到预先设定好的温度；(2)使用反应性气体前驱物在所述玻璃板表面先后快速均匀沉积中间层薄膜和透明导电层薄膜；并且(3)将镀完膜的所述玻璃板进行冷却退火，所述退火的温度设定在一个渐变梯度范围。
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