[发明专利]一种核径迹蚀刻膜的制作方法在审
申请号: | 201510586399.0 | 申请日: | 2015-09-15 |
公开(公告)号: | CN105148738A | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 吴振东;梁海英;焦学胜;陈东风;鞠薇;傅元勇;王雪杰 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | B01D67/00 | 分类号: | B01D67/00;B01D71/06;B01D69/02 |
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地址: | 102413 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种核径迹蚀刻膜的制作方法,包括以下步骤:辐照,使用加速器产生的适当能量的荷能离子辐照聚合物薄膜,使离子在薄膜中的射程大于薄膜厚度的2/3且小于薄膜厚度;蚀刻,将经过辐照的聚合物薄膜浸没在蚀刻液中进行蚀刻;清洗,用清水清洗蚀刻后的聚合物薄膜;烘干,将清洗完毕的薄膜聚合物烘干。本发明提供的制作方法,其工艺简单,易于实施,成本低,采用该方法,可制作出具有小口端截面圆直径(D1)为0.1-15微米、大口端截面圆直径(D2)为0.2-20微米的单锥形微孔的重离子微孔膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 径迹 蚀刻 制作方法 | ||
【主权项】:
一种核径迹蚀刻膜的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:辐照:使用加速器产生的适当能量的荷能离子辐照聚合物薄膜,使离子在薄膜中的射程大于薄膜厚度的2/3且小于薄膜厚度;蚀刻:将经过辐照的聚合物薄膜浸没在蚀刻液中进行蚀刻;清洗:用清水清洗蚀刻后的聚合物薄膜;烘干:将清洗完毕的薄膜聚合物烘干。
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