[发明专利]一种核径迹蚀刻膜的制作方法在审

专利信息
申请号: 201510586399.0 申请日: 2015-09-15
公开(公告)号: CN105148738A 公开(公告)日: 2015-12-16
发明(设计)人: 吴振东;梁海英;焦学胜;陈东风;鞠薇;傅元勇;王雪杰 申请(专利权)人: 中国原子能科学研究院
主分类号: B01D67/00 分类号: B01D67/00;B01D71/06;B01D69/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 102413 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种核径迹蚀刻膜的制作方法,包括以下步骤:辐照,使用加速器产生的适当能量的荷能离子辐照聚合物薄膜,使离子在薄膜中的射程大于薄膜厚度的2/3且小于薄膜厚度;蚀刻,将经过辐照的聚合物薄膜浸没在蚀刻液中进行蚀刻;清洗,用清水清洗蚀刻后的聚合物薄膜;烘干,将清洗完毕的薄膜聚合物烘干。本发明提供的制作方法,其工艺简单,易于实施,成本低,采用该方法,可制作出具有小口端截面圆直径(D1)为0.1-15微米、大口端截面圆直径(D2)为0.2-20微米的单锥形微孔的重离子微孔膜。
搜索关键词: 一种 径迹 蚀刻 制作方法
【主权项】:
一种核径迹蚀刻膜的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:辐照:使用加速器产生的适当能量的荷能离子辐照聚合物薄膜,使离子在薄膜中的射程大于薄膜厚度的2/3且小于薄膜厚度;蚀刻:将经过辐照的聚合物薄膜浸没在蚀刻液中进行蚀刻;清洗:用清水清洗蚀刻后的聚合物薄膜;烘干:将清洗完毕的薄膜聚合物烘干。
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