[发明专利]具有自我修复能力的复合阻隔结构

摘要

本发明公开了一种具有自我修复能力的复合阻隔结构，具有多个功能结构层，包括在基板之上依次叠置基础Al2O3层、中部铝层、中部Al2O3层和外部致密结构层，基础Al2O3层构成第一道阻隔层，外部致密结构层能阻隔水氧分子透过，中部Al2O3层和外部致密结构层共同构成第二道阻隔层，纯铝层作为修复剂层，能在叠置基础Al2O3层和中部Al2O3层出现缝隙缺陷时提供Al原子，在缺陷处自发氧化形成Al2O3，填补相应缺陷。本发明复合水氧阻隔层的多层复合结构既有优异的水氧阻隔性，又具备良好的重复弯曲性能及缺陷形成后的自我修复能力，在柔性衬底性能的水氧阻隔性、弯曲性能提升方面具有广泛应用前景。

主权项

一种具有自我修复能力的复合阻隔结构，具有多个功能结构层，其特征在于：由下述成分组成，在基板（1）之上依次叠置基础Al2O3层（2）、中部铝层（3）、中部Al2O3层（4）和外部致密结构层，所述基础Al2O3层（2）构成第一道阻隔层，所述外部致密结构层能阻隔水氧分子透过，所述中部Al2O3层（4）和所述外部致密结构层共同构成第二道阻隔层，所述中部铝层（3）作为修复剂层，能在所述叠置基础Al2O3层（2）和所述中部Al2O3层（4）出现缝隙缺陷时提供Al原子，在缺陷处自发氧化形成Al2O3，填补相应缺陷；所述基板为聚酰亚胺衬底；所述基础Al2O3层（2）和所述中部Al2O3层（4）是在层结构制备过程中通过相应的中部铝层前体自发氧化形成；覆盖所述中部Al2O3层（4）的所述外部致密结构层采用原子层沉积方法沉积制备；覆盖所述中部Al2O3层（4）的所述外部致密结构层为外部Al2O3薄膜层（5）、外部SiNX层（6）或外部SiO2层（7）；所述外部致密结构层的厚度为50nm。