[发明专利]一种曝光装置有效
| 申请号： | 201510590553.1 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN106547172B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 孙晶露;何经雷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B17/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种曝光装置，在光路上，沿着光束传播方向，依次包括物面、焦面调整装置、平面反射镜组、第一戴森型光学系统、两个道威棱镜组成的棱镜组、平面反射镜组、第二戴森型光学系统、倍率调整装置、像面；在上述光路中，还包括像场调节机构。与现有技术相比较，本发明通过利用道威棱镜来实现对像场的旋转；由两块单片反射镜取代直角反射镜，可以分别调节像面的倾斜和焦面；在光路中放置由多个电极驱动的电活性透镜或液体镜头，可以实现镜片更复杂的面型变化，实现像质的高阶波像差调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，其特征在于，在光路上，沿着光束传播方向，依次包括物面、焦面调整装置、平面反射镜组、第一戴森型光学系统、两个道威棱镜组成的棱镜组、平面反射镜组、第二戴森型光学系统、倍率调整装置、像面；在上述光路中，还包括像场调节机构，所述像场调节机构由液体镜头或电活性透镜组成，所述液体镜头或电活性透镜由多个电极驱动，通过多个所述电极分别进行驱动，以控制所述液体镜头或电活性透镜的局部面型，实现高阶的像差调整。
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