[发明专利]一种去胶工步识别方法及装置有效
| 申请号： | 201510591020.5 | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN106547253B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 詹祥宇 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种去胶工步识别方法及装置，该方法包括：根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去胶工步 识别 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种去胶工步识别方法，其特征在于，包括：获取待跳步工步的产品批次标识；根据获取的所述产品批次标识，提取所述待跳步工步的产品批次信息，所述待跳步工步的产品批次信息中至少包括所述待跳步工步对应的工序标识和工步标识；获取所述待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；根据所述待跳步工步对应的工序标识和工步标识、所述目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告，若不包括，则执行本次跳步。
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