[发明专利]升温推结扩散工艺

摘要

本发明公开了一种升温推结扩散工艺，其具体步骤如下：（1）进舟；（2）快速升温；（3）前氧化；（4）升温沉积；（5）升温推结；（6）冷却；（7）出舟。在较低温度下进行升温扩散，然后再在较高温度下推结，形成低表面浓度深结，转换效率提升0.2%以上。

主权项

升温推结扩散工艺，其特征为，其具体步骤如下：     （1）开始：时间5~20 s，温度760~790 ℃，大氮流量4~12 L/min；（2）进舟：时间600~1000 s，温度760~790 ℃，大氮流量4~12 L/min，进舟速度300~700 mm/min；（3）快速升温：时间300~1000 s，温度760~790 ℃，大氮流量6~25 L/min，升温速率≥10 ℃/min；（4）前氧化：时间200~800 s，温度760~790 ℃，大氮流量6~25 L/min，氧气流量1~5 L/min；（5）升温沉积：时间800~2000 s，温度790~810 ℃，大氮流量6~25 L/min，小氮流量0.8~3 L/min，氧气流量0.3~3 L/min，升温速率≥10 ℃/min；（6）升温推结：时间400~1300 s，温度830~880 ℃，大氮流量6~25 L/min，氧气流量0~2 L/min，升温速率≥10 ℃/min；（7）冷却：时间300~2000 s，温度700~800 ℃，大氮流量6~25 L/min，氧气流量1~5 L/min；（8）出舟：时间700~1200 s，温度700~800 ℃，大氮流量4~12 slm，进舟速度200~500 mm/min；（9）结束：时间5~20 s，温度760~800 ℃，大氮流量4~12 L/min。