[发明专利]振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种抑制不必要的振动而生成稳定的斜向振动的振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片(2)具备振动部(5)，振动部(5)包含第一主面(511)、第二主面(512)、第一侧面(513)、第二侧面(514)，且所述振动部(5)在第一方向(y)上延伸。振动部具有形成在第一主面的第一槽部(55)和形成在第二主面的第二槽部(56)，从与第一主面正交的方向俯视观察时，第一槽部以及第二槽部在第二方向y上并且以向彼此的反方向偏移的方式设置。

主权项

一种振动片，其特征在于，具备振动部，所述振动部包含第一主面、所述第一主面的相反侧的第二主面、第一侧面、与所述第一侧面相反侧的第二侧面，且所述振动部在第一方向上延伸，其中，所述振动部具有：第一槽部，其形成在所述第一主面；第二槽部，其形成在所述第二主面，从与所述第一主面正交的方向俯视观察时，所述第一槽部与所述第二槽部相比，向远离所述第一侧面的方向偏移设置，在与所述振动部所延伸的所述第一方向正交的横截面上，所述第一槽部的所述第一侧面侧的第一开口端、和所述第一主面与所述第一侧面相交的第一端之间的长度a1长于，所述第一槽部的所述第二侧面侧的第二开口端、和所述第一主面与所述第二侧面相交的第二端之间的长度b1，在所述横截面上，所述第二槽部的所述第二侧面侧的第三开口端、和所述第二主面与所述第二侧面相交的第三端之间的长度a2长于，所述第二槽部的所述第一侧面侧的第四开口端、和所述第二主面与所述第一侧面相交的第四端之间的长度b2，当将所述第一槽部的深度设为d1，将所述第二槽部的深度设为d2，将所述第一主面与所述第二主面之间的距离设为t时，满足d1+d2＜t。