[发明专利]晶圆的整列方法在审
| 申请号： | 201510595527.8 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN106548966A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 曹承育;江信宽 | 申请（专利权）人： | 英属开曼群岛商精曜有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 英属开曼群岛大开曼岛KY1-*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆的整列方法。该整列方法包括下列步骤首先，提供至少一晶圆与一整列装置，其中整列装置包括一吸引构件与一限位构件；接着，以吸引构件吸持晶圆的一表面，并驱动吸引构件将晶圆移动至限位构件；以及于吸引构件吸持晶圆的状况下，以限位构件夹置晶圆以定位晶圆的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆的整列方法，其特征在于，包括：提供至少一晶圆与一整列装置，其中该整列装置包括一吸引构件与一限位构件；以该吸引构件吸持该晶圆的一表面，并驱动该吸引构件将该晶圆移动至该限位构件；以及在该吸引构件吸持该晶圆的状况下，以该限位构件夹置该晶圆以定位该晶圆的位置。
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