[发明专利]一种SF6气体传感器及其放电电极的制备方法在审
| 申请号： | 201510599703.5 | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN106546879A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李璐;陈硕;郑天祥;尉志勇;单来支;高慧;高运兴 | 申请（专利权）人： | 国网智能电网研究院;国家电网公司;国网山东省电力公司泰安供电公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;G01N27/70 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102211 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种SF6气体传感器及其放电电极的制备方法，SF6气体传感器的传感头中的放电电极为经MEMS工艺制备的放电电极阵列，且所述放电电极阵列为微纳结构；且其外围控制电路中设有传感器控制电路切换系统。放电电极的制备方法包括采用体硅微加工技术在原有硅衬底表面刻均匀刻蚀制备微米尺度的锥形体的微纳电极；利用腐蚀方法减小所述微纳电极的曲率半径后集成封装。本发明提出的该SF6气体传感器及其放电电极的制备方法可应用于智能变电站GIS设备的长期实时在线监测，能够实现GIS设备SF6气体的长期在线预警检测，具有体积小、功耗低、成本低、灵敏度高等特点，兼顾长期在线监测和精确测量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sf6 气体 传感器 及其 放电 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种SF6气体传感器，所述SF6气体传感器包括用于感知SF6气体的传感头和用于驱动传感头的外围控制电路；其特征在于，所述传感头中的放电电极为经MEMS工艺制备的放电电极阵列，且所述放电电极阵列为微纳结构；所述外围控制电路中设有传感器控制电路切换系统。
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