[发明专利]用于高频通信的650半导体激光芯片及其制备方法有效
申请号: | 201510602924.3 | 申请日: | 2015-09-21 |
公开(公告)号: | CN105071222A | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 汤庆敏;张新;刘存志;张骋;徐现刚 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子有限公司 |
主分类号: | H01S5/32 | 分类号: | H01S5/32 |
代理公司: | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人: | 王书刚 |
地址: | 250101 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种用于高频通信的650半导体激光芯片及其制备方法,该芯片厚度为125-145μm,衬底层的N电极和有源区P面电极之间距离为125-145μm;有源区P面电极的正投影面积仅存有源区P面电极与P面电极焊盘区域。在芯片制备过程,优选了芯片有源区P面电极的结构设计,减小有源区P面电极面积至仅存P面脊区与焊盘区域,其脊区偏向芯片一端,将焊盘位于芯片中央可实现脉冲驱动下的650半导体激光器更高的频率响应时间,从而实现通信的高速传输。本发明提升了半导体激光芯片的频率响应时间,满足高频通信中采用的脉冲驱动,从而可以将廉价的650半导体激光器用于通信的光源,从而达成了塑料光纤取代石英光纤而实现高速传输的目的。 | ||
搜索关键词: | 用于 高频 通信 650 半导体 激光 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于高频通信的650半导体激光芯片,其结构自下至上依次为衬底层、下限制层、下波导层、量子阱有源区、上波导层、上限制层和欧姆接触层;衬底层上设置N电极,有源区上设置P面电极;其特征是,芯片厚度为125‑145μm,N电极和P面电极之间距离为125‑145μm;P面电极的正投影面积仅存P面电极脊区与P面电极焊盘区域。
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