[发明专利]一种PECVD设备低温控制方法

摘要

本发明为一种PECVD设备低温控制方法。在加热盘下设置油管道用于冷却降温，油管道与油温机连接，通过温控器调节油管道上的调节阀以及控制油温机来控制降温，包括油温机内有两个油箱，油温机的两个油箱分别设置个工艺温度和冷却温度；加热盘在工艺过程中温度会越来越高，温控器执行热油的PID控制模式，根据加热盘升高的温度来控制调节阀的开度变小，使管路流量降低；当温控器感知调节热油流量不能满足加热盘的升温时，温控器给油温机四通阀一个切换油箱的指令，油管内通入冷油，此时温控器执行冷油的PID控制指令，通过调节调节阀的开度来控制油管内流量，进而达到控制加热盘温度。实现加热盘的温度保持不变。

主权项

一种PECVD设备低温控制方法，其特征在于，在加热盘下设置油管道用于冷却降温，油管道与油温机连接，通过本地温控器调节油管道上的调节阀以及控制油温机来控制降温，包括：油温机内有两个油箱，油箱的温度分别控制，油温机出口为一路管路，油温机内部通过控制四通阀的切换来控制出口流出的是哪一油箱的油，四通阀的切换通过本地温控器控制实现；油温机的两个油箱分别设置工艺温度和冷却温度；加热盘在工艺过程中温度会越来越高，本地温控器根据加热盘升高的温度来控制调节阀的开度变小，使管路流量降低；当本地温控器感知调节热油流量不能满足加热盘的升温时，本地温控器给油温机四通阀一个切换油箱的指令，油管内通入冷油，此时本地温控器执行冷油的PID控制指令，通过调节调节阀的开度来控制油管内流量，进而达到控制加热盘温度。